干式真空泵
在過(guò)去的分類、油真空泵被廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體工藝和真空泵和活塞式真空泵是重要的代表。而且它們?cè)诟鞣N應(yīng)用中的體現(xiàn)不能讓人感到驕傲。因此，干式真空泵應(yīng)運(yùn)而生。在過(guò)去的年中，有幾個(gè)不同的例子，干式真空泵的計(jì)劃和生產(chǎn)，他們有顯著的差異，在機(jī)器布局計(jì)劃。由于這種區(qū)別，我們可以將干式真空泵歸納為以下幾種：圓形葉型、爪型、組合型（根爪）、螺桿式。如今，這些例子被不同廠家廣泛使用。圓形，爪和組合（根爪）被稱為多級(jí)泵。由于它們的方法基本相似，真空被多級(jí)真空室反復(fù)壓縮產(chǎn)生真空。在重復(fù)壓縮的過(guò)程中，氣體的溫度和壓力也會(huì)發(fā)生很大的變化，從而更容易改變氣體的物理性質(zhì)。螺桿式泵稱為單級(jí)泵，因?yàn)樗荒苡烧婵涨划a(chǎn)生真空。根據(jù)氣體壓縮法的不同，可分為內(nèi)壓式螺桿泵和外壓式螺桿泵。這里有一些這些差分泵的物理實(shí)例，期待為他們提供資金。
雙峰方案是羅茨泵是目前最流行和廣泛使用的非常相似。事實(shí)上，最早的干泵計(jì)劃是將羅茨泵泵到一起。這種多級(jí)方案使氣體路徑非常大，每一級(jí)都需要較大的氮?dú)饬髁縼?lái)稀釋和切斷。同時(shí)，為了獲得良好的真空，對(duì)所有級(jí)別的通關(guān)要求非常嚴(yán)格。當(dāng)然，這種程序使得功耗相對(duì)較低，由于內(nèi)部壓縮比的增加。
一三葉圓形方案的原理是完全一樣的，兩葉分割方案。它只把氣體分為三個(gè)部分，而不是一個(gè)圓形的圓瓣，它是兩個(gè)拷貝。三瓣環(huán)規(guī)劃和雙圓分裂方案具有相似的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低功耗，一些廠家在傳輸部門選擇兩臺(tái)直流電動(dòng)機(jī)，但這也會(huì)導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩下降和重新啟動(dòng)的能力下降。以同樣的方式為雙圓裂計(jì)，每三裂片圓葉方案需要較大流量的氮?dú)庀♂屝Ч?br /> 組合式（根爪）計(jì)劃的進(jìn)展具有較低壓力的爪子服從抽在羅瓷萊的領(lǐng)導(dǎo)下，服從在較高壓力下泵的進(jìn)步。同類型程序葉前端氣路的基本原理。有些制造商將他們的最后階段改為類似于恒星的計(jì)劃，例如允許氣體在旋轉(zhuǎn)的循環(huán)中分成五個(gè)部分，如三輪計(jì)劃，可分為三個(gè)部分。同樣，在許多過(guò)程中，一個(gè)聯(lián)合計(jì)劃的每個(gè)階段都需要一個(gè)大流量的氮?dú)鈦?lái)稀釋和切斷。